產(chǎn)品介紹
工具金相顯微鏡是具有電子數(shù)字成像與目視系統(tǒng)，兼具影像坐標測量與顯微觀察功能的測量型金相顯微鏡。該儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，F(xiàn)PD面板，電子組件，電路封裝，電路基板，精密刀具，PCB加工等方面。不僅應(yīng)用于長度、角度等二維測量，亦可用于ITO、ACF導(dǎo)電粒子形狀和瑕疵觀察。是機械、電子、科研院所及計量實驗室不可或缺的計量檢測設(shè)備之一。
產(chǎn)品參數(shù)
| 儀器型號/ 儀器參數(shù) | FH300 | |||
| 測量行程(mm)* | 300X200X150 | |||
| 外形尺寸(mm) | 750X640X900 | |||
| 儀器重量(kg) | 200 | |||
| 承載重量(kg) | 30 | |||
| 測量精度 | X/Y≤(2.0+L/200)µm | |||
| L為被測物長度，單位為mm | ||||
| 導(dǎo)軌 | P級精密V型交叉導(dǎo)軌 | |||
| 光柵尺** | 0.5µm光柵尺 | |||
| 控制方式 | X/Y軸手動控制，Z軸電動控制 | |||
| 圖像傳感器 | 高清晰、高分辨率彩色工業(yè)數(shù)字攝像機 | |||
| 光源 | 透射光 | LED平行冷光源，256級亮度可調(diào) | ||
| 反射光 | 鹵素?zé)?LED照明器可選 | |||
| 目鏡 | 三目鏡筒 | |||
| 光學(xué)物鏡*** | 手動物鏡轉(zhuǎn)換器：5X 10X 20X 50X 100X(倍率可選) | |||
| 適用電源 | 100-240V(AC)50/60Hz | |||
| 工作環(huán)境 | 溫度22±2℃濕度30%-80%振動<0.002g，低于15Hz | |||
備注
* Z軸標配測量行程為150mm，特殊需求可定制
** 標配為0.5µm光柵尺，可選配0.1µm光柵尺
*** 可選配自動變倍物鏡轉(zhuǎn)換器
儀器特點
各型號量程儀器支持定制開發(fā)
高精度花崗巖底座、立柱，確保機構(gòu)有極高的穩(wěn)定性及精度
高精度、高分辨率光柵尺
高解析度、高分辨率工業(yè)專用彩色CCD，確保擁有高質(zhì)量的測量畫面
Z軸電動手脈控制
可實現(xiàn)高度輔助測量
可擴展選配DIC微分干涉模塊
可擴展選配光譜共焦白光測量模塊