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儀器型號(hào) / 儀器參數(shù):FH300
儀器外形尺寸:1000mm × 700mm × 1450mm
測(cè)量行程 :300mmX200mm
儀器用途 :檢測(cè)芯片切割之前字符尺寸偏移量
工具金相顯微鏡是具有電子數(shù)字成像與目視系統(tǒng),兼具影像坐標(biāo)測(cè)量與顯微觀察功能的測(cè)量型金相顯微鏡。該儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,F(xiàn)PD面板,電子組件,電路封裝,電路基板,精密刀具,PCB加工等方面。不僅應(yīng)用于長度、角度等二維測(cè)量,亦可用于ITO、ACF導(dǎo)電粒子形狀和瑕疵觀察。是機(jī)械、電子、科研院所及計(jì)量實(shí)驗(yàn)室不可或缺的計(jì)量檢測(cè)設(shè)備之一。
儀器型號(hào)/ 儀器參數(shù) | FH300 | |||
測(cè)量行程(mm)* | 300X200X150 | |||
外形尺寸(mm) | 750X640X900 | |||
儀器重量(kg) | 200 | |||
承載重量(kg) | 30 | |||
測(cè)量精度 | X/Y≤(2.0+L/200)µm | |||
L為被測(cè)物長度,單位為mm | ||||
導(dǎo)軌 | P級(jí)精密V型交叉導(dǎo)軌 | |||
光柵尺** | 0.5µm光柵尺 | |||
控制方式 | X/Y軸手動(dòng)控制,Z軸電動(dòng)控制 | |||
圖像傳感器 | 高清晰、高分辨率彩色工業(yè)數(shù)字?jǐn)z像機(jī) | |||
光源 | 透射光 | LED平行冷光源,256級(jí)亮度可調(diào) | ||
反射光 | 鹵素?zé)?LED照明器可選 | |||
目鏡 | 三目鏡筒 | |||
光學(xué)物鏡*** | 手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器:5X 10X 20X 50X 100X(倍率可選) | |||
適用電源 | 100-240V(AC) 50/60Hz | |||
工作環(huán)境 | 溫度22±2℃ 濕度30%-80% 振動(dòng)<0.002g,低于15Hz |
備注
* Z軸標(biāo)配測(cè)量行程為150mm,特殊需求可定制
** 標(biāo)配為0.5µm光柵尺,可選配0.1µm光柵尺
*** 可選配自動(dòng)變倍物鏡轉(zhuǎn)換器
各型號(hào)量程儀器支持定制開發(fā)
高精度花崗巖底座、立柱,確保機(jī)構(gòu)有極高的穩(wěn)定性及精度
高精度、高分辨率光柵尺
高解析度、高分辨率工業(yè)專用彩色CCD,確保擁有高質(zhì)量的測(cè)量畫面
Z軸電動(dòng)手脈控制
可實(shí)現(xiàn)高度輔助測(cè)量
可擴(kuò)展選配DIC微分干涉模塊
可擴(kuò)展選配光譜共焦白光測(cè)量模塊
儀器型號(hào) / 儀器參數(shù):FH300
儀器外形尺寸:1000mm × 700mm × 1450mm
測(cè)量行程 :300...
查看詳情儀器型號(hào) / 儀器參數(shù):MV1400CNC
測(cè)量行程(mm):1000x1400x150
外形尺寸(mm):2300x165...
查看詳情儀器型號(hào) / 儀器參數(shù):MV300
測(cè)量行程(mm):300x200x150
外形尺寸(mm):850x650x950 查看詳情